上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室主任、教授。1978.8-1982.7兰州大学半导体专业本科，1983-1986兰州大学半导体专业硕士，1986-1991在天光集成电路厂和永红集成电路厂实习和讲授半导体集成电路课程，参与第一片数码相机芯片研制，1991-1994兰州大学凝聚态物理博士，1996-2001日本科技厅无机材质研究所研究先进薄膜电子材料，2001-至今上海交通大学微纳电子学系教授，长江学者特聘教授，亚太材料科学院院士，薄膜与微细技术教育部重点实验室主任。专业著作：《半导体集成电路制造技术》, 2006年6月高等教育出版社ISBN7-04-018299-8, 47万字，被认为IC制造技术领域的国内第一本中文著作； （2）Mutilyer Integreated Film Bulk Acoustic Resonator，Springer-Verlag, ISBN9783642317767, DOI 10.1007/9783642-317767，2012.11月出版， Springer报告2013年此著作eBook在网上缴费下载 达1175 次之高，属于国际创新器件领域奠基性英文专著；（3）薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用，上海交通大学出版社2010年6月出版， ISBN978-7-313-06516-2，第一本关于薄膜体声波谐振器科学与技术基础方面的中文著作；（4）Nanowelded Carbon Nanotubes: From Field-Effect Transistors to Solar Microcells，Springer-Verlag（ISBN10: 3642014984），碳纳米管电子器件技术专著； （5）"Diamond Crystals, Growth of ", Encyclopedia of Materials: Science and Technology, Elsevier Science，Chapter 6.5.20 ，2113-2118 (2004)，被国际半导体金刚石研究者推荐撰写了大百科材料全书的一个相关章节，（6）纳米材料与结构测试方法，2019年4月，上海交通大学出版社，ISBN 978-7-313-20893-4, 35万字；（7）镍与纳米镍功能材料，2019年9月，上海交通大学出版社，ISBN 978-7-313-21850-6, 27万字。（8） “集成电路制造技术”, 2018年10月，上海交通大学出版社ISBN 978-7-313-18651-5, 63.9万字。 2003-2006上海宏力半导体制造有限公司顾问专家，2022年魅杰光电科技（上海）有限公司顾问。