本栏目企业均在供应商预评估活动中评级A且产品在集成电路8寸线及以上批量应用。
星级评定标准：按各企业供应商评估等级、在各技术节点量产应用范围等标准综合评定，详询秘书处。
六氟化钨WF6
推荐指数：★★★★★
中船重工集团公司第七一八研究所
中船重工集团公司第七一八研究所
公司(检测方)
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型号
所属单位
三氟化氮NF3
推荐指数：★★★★★
中船重工集团公司第七一八研究所
中船重工集团公司第七一八研究所
公司(检测方)
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型号
所属单位
磷烷PH3
推荐指数：★★★★★
江苏南大光电材料股份有限公司
江苏南大光电材料股份有限公司
公司(检测方)
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型号
所属单位
砷烷AsH3 及其混合气
推荐指数：★★★★★
江苏南大光电材料股份有限公司
江苏南大光电材料股份有限公司
公司(检测方)
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型号
所属单位
磷烷PH3
中昊光明化工研究设计院有限公司
公司(检测方)
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型号
所属单位
硼烷B2H6
中昊光明化工研究设计院有限公司
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型号
所属单位
一氧化二氮(笑气) N2O
中昊光明化工研究设计院有限公司
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型号
所属单位
氨气NH3
中昊光明化工研究设计院有限公司
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型号
所属单位
三氟化硼BF3
中昊光明化工研究设计院有限公司
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型号
所属单位
三甲基镓 Ga(CH3)3
南大光电材料股份有限公司
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所属单位
三甲基铟 In(CH3)3
江苏南大光电材料股份有限公司
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所属单位
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