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北京市海淀区知春路27号量子芯座

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电子气体/CVDt和ALD前驱体

本栏目企业均在供应商预评估活动中评级A且产品在集成电路8寸线及以上批量应用。

星级评定标准:按各企业供应商评估等级、在各技术节点量产应用范围等标准综合评定,详询秘书处。

磷烷PH3

中昊光明化工研究设计院有限公司
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磷烷PH3

推荐指数:★★★★★
江苏南大光电材料股份有限公司
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硼烷B2H6

中昊光明化工研究设计院有限公司
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砷烷AsH3 及其混合气

推荐指数:★★★★★
江苏南大光电材料股份有限公司
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氨气NH3

中昊光明化工研究设计院有限公司
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六氟化钨WF6

推荐指数:★★★★★
中船重工集团公司第七一八研究所
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三甲基镓 Ga(CH3)3

南大光电材料股份有限公司
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三甲基铟 In(CH3)3

江苏南大光电材料股份有限公司
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三氟化硼BF3

中昊光明化工研究设计院有限公司
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三氟化氮NF3

推荐指数:★★★★★
中船重工集团公司第七一八研究所
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一氧化二氮(笑气) N2O

中昊光明化工研究设计院有限公司
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