中国科学院微电子所研究员
浙江大学硅材料国家重点实验室主任
中科院上海微系统与信息技术研究所所长助理
中科院上海微系统与信息技术研究所所长
东北大学 材料各向异性与织构教育部重点实验室
中国科学院微电子研究所工程师
报告题目：电子束光刻胶中的聚合物材料 报告简介：在微电子工艺和纳米加工中，电子束光刻胶是比较常用的高分辨率的图形掩模材料。电子束光刻胶的重要材料是有机聚合物。文中论述了各种用于电子束光刻胶的聚合物材料，从聚合物的单体结构，聚合物的不同组成，分子量范围及其分布，以及在电子束光刻胶中的表征，说明了他们对于电子束光刻胶性能的影响。光刻工艺的变化对于聚合物材料在光刻时的表现也起着重要的作用。作者最后列举
中国科学院微电子研究所先导工艺研发中心工程师
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员
江南大学教授
清华大学教授
中国科学院化学研究所副所长