产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文:超声扫描显微镜 |
仪器型号 |
Gen6 |
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英文:Ultrasonic Scanning Microscope |
产地及生产厂家 |
美国/Sonoscan |
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所属单位 |
工业和信息化部电子第五研究所(中国赛宝实验室) |
购置时间 |
2018年 |
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放置地点 |
广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围(公差) |
应用范围:各类电子材料内部粘接空洞、裂纹、分层及夹杂等缺陷。 主要参数:扫描分辨率:X / Y方向扫描分辨率为0.1µm或更高,Z方向的分辨率可以达到5nm或更高。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
否 |
已获取CNAS认证 |
是 |