产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：飞行时间二次离子质谱仪 |
仪器型号 |
TOF.SIMS 5 |
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英文：Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry |
产地及生产厂家 |
德国/ION-TOF 公司 |
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所属单位 |
工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
购置时间 |
2013年 |
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放置地点 |
广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
应用范围：1、样品的浅表面信息：包括H在内的所有元素，化合物以及有机物质；2、配合样品表面扫描和剥离，得到样品表面甚至三维的成分图；3、掺杂剂和杂质的确定。 主要参数：深度：1~5nm， 空间分辨率：80nm，检测极限：ppm~ppb。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
否 |
已获取CNAS认证 |
是 |