产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：等离子聚焦离子束 |
仪器型号 |
双束FIB Helios G4 CX |
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英文：Focused Ion Beam |
产地及生产厂家 |
美国/赛默飞 |
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所属单位 |
工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
购置时间 |
2018年 |
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放置地点 |
广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
应用范围：1、对材料进行定点切割，制作剖面观察内部结构，结合能谱和点子背散射衍射相机对定点位置进行成分和结构分析；2、对芯片进行定点的等进行电路修补。3、制备高质量的超薄TEM样品。 主要参数： FIB分辨率：2.5nm at 30kV；SEM分辨率0.6nm@15kV；能谱分辨率125eV。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
否 |
已获取CNAS认证 |
是 |