产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：尼康KrF扫描光刻机 |
仪器型号 |
NIKON S204B |
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英文：NIKON KrF Exposure Scanner |
产地及生产厂家 |
日本/NIKON |
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所属单位 |
江苏汉拓光学材料有限公司 |
购置时间 |
2016年 |
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放置地点 |
江苏省徐州市科技开发区 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
KrF激光（248nm波长）光刻胶曝光设备，8寸篇，分辨率为半周期180nm。适合180nm工艺节点的光刻。 匀胶显影几台，TEL ACT8，8存片，与NIKON S204B联机使用。具备HMDS,PAB,PEB,涂胶，显影单元，工作状态正常，用于流片生产。ICP-MS，惠普，测定有机液体中痕量金属的含量，10ppt检测下限。液体颗粒检测仪，NEON，可检测液体中颗粒数，粒径分布。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
是 |
已获取CNAS认证 |
是 |