产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：非金属膜厚仪 |
仪器型号 |
3100 |
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英文：Tohospec |
产地及生产厂家 |
日本/东鹏科技 |
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所属单位 |
江阴江化微电子材料股份有限公司 |
购置时间 |
2018年 |
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放置地点 |
江苏省江阴市周庄镇长寿云顾路581号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
非损伤侦测Si,SiO2，PR等对可见光可透的膜层厚度，精度达10Å。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
否 |
已获取CNAS认证 |
否 |