产品描述
|
仪器设备信息 |
|||
|
仪器名称 |
中文：聚焦离子束场发射扫描电子显微镜 |
仪器型号 |
Auriga Compact |
|
英文：DualBeam-FIB |
产地及生产厂家 |
德国/Zeiss |
|
|
所属单位 |
华芯检测（无锡）有限公司 |
购置时间 |
2014年 |
|
放置地点 |
江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号D1栋3层 |
仪器状态 |
正常 |
|
设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
FIB能将离子源产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像，或用强电流离子束对表面原子进行剥离，以完成微、纳米级表面形貌加工。通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性的剥除金属，氧化硅层或沉积金属层。 |
||
|
是否通过第三方机构定期校准 |
是 |
已获取CNAS认证 |
否 |