产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：微探针台 |
仪器型号 |
SUMMIT 11000B-S |
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英文：Microwave Probe Station |
产地及生产厂家 |
德国/Cascade |
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所属单位 |
华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
购置时间 |
2011年12月 |
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放置地点 |
北京市朝阳区北土城西路3号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
具有200 mm的晶圆探测能力； 可用于器件的RF特性测试、晶圆级可靠性测试； 通过安装不同规格的探针，可测试具有不同线距（ 50 μm-1250 μm ）、不同结构的传输线，如GS/SG、GSG、GSSG等。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
是 |
已获取CNAS认证 |
否 |