产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文:12寸化学机械研磨机台 |
仪器型号 |
300 CMP Reflexion |
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英文:AMAT 300 CMP |
产地及生产厂家 |
美国/AMAT |
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所属单位 |
湖北鼎汇微电子材料有限公司 |
购置时间 |
2016年 |
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放置地点 |
湖北省武汉市经济技术开发区东荆河路1号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围(公差) |
对12寸晶圆进行化学机械研磨。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
否 |
已获取CNAS认证 |
否 |
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