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12寸化学机械研磨机台

所属分类:

联合分析检测与技术合作服务平台

测试仪器

抛光材料测试仪器

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产品描述

仪器设备信息

仪器名称

中文:12寸化学机械研磨机台

仪器型号

300 CMP Reflexion

英文:AMAT 300 CMP

产地及生产厂家

美国/AMAT

所属单位

湖北鼎汇微电子材料有限公司

购置时间

2016年

放置地点

湖北省武汉市经济技术开发区东荆河路1号

仪器状态

正常

设备应用范围/仪器测量范围(公差)

对12寸晶圆进行化学机械研磨。

是否通过第三方机构定期校准

否

已获取CNAS认证

否