产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：12寸晶圆缺陷检测机 |
仪器型号 |
KLA SP2 |
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英文：KLA 300 SP2 |
产地及生产厂家 |
美国/KLA |
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所属单位 |
湖北鼎汇微电子材料有限公司 |
购置时间 |
2017年 |
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放置地点 |
湖北省武汉市经济技术开发区东荆河路1号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
对12寸晶圆进行缺陷检测。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
否 |
已获取CNAS认证 |
否 |
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