产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：表面缺陷检测系统 |
仪器型号 |
SP2 |
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英文：Surfscan SP2 |
产地及生产厂家 |
Singapore/KLA-Tencor（Singapore）Pte Ltd |
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所属单位 |
安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
购置时间 |
2017年 |
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放置地点 |
上海浦东新区晨晖路258号E座1-3楼 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
硅片颗粒检测范围100nm以上。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
否 |
已获取CNAS认证 |
否 |
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