《集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法》拟立项及参与单位征集

各有关单位：

经联盟标委会秘书处形式审查后，对以下团体标准项目公开征求意见。

序号	拟立项编号	标准名称	牵头单位	制修订
1	2023-2LX-ICMTIA	集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法	洛阳中硅高科技有限公司	制定

上述拟立项标准项目的立项建议书见附件1。

有意参与该标准制定的企事业单位请填写《团体标准制修订项目参与申请表》（附件2），并于5月20日前反馈至秘书处。

有反对意见或其它建议请于5月20日前向秘书处进行反馈。

秘书处联系人：王大方邮箱：dafang_wang@icmtia.com

Key words:

《集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》拟立项及参与单位征集