超净技术及氟聚合物创新联合体扩大工作会议在衢州顺利召开

2026年5月14日，超净技术及氟聚合物创新联合体扩大工作会议在浙江衢州召开。本次会议由集成电路材料产业技术创新联盟主办，来自集成电路设备、零部件、氟聚合物材料、特种气体、检测认证等40余家单位参会，会议围绕超净技术与超纯氟聚合物国产化、产业链协同、标准共建、技术创新等议题深入交流、共同推动半导体关键材料与核心部件自主可控进程。

会议期间，与会专家从材料端、零部件端和设备端分享了氟聚合物与超净材料在半导体领域的应用进展。与会代表围绕国产化进程、协同机制、未来5年发展思路等议题展开深度研讨，直面材料依赖进口、验证周期长、标准不统一、上下游联动不足等痛点，共谋破局路径。会议达成多项共识。

本次会议的成功召开，进一步夯实了超净技术及氟聚合物创新联合体的协同机制，凝聚了材料—设备—应用全链条合力。联盟将持续发挥平台纽带作用，与各单位一起，攻坚克难、协同创新，加快突破半导体关键材料“卡脖子”难题，为我国集成电路产业高质量发展提供坚实支撑！

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