甘阳，哈尔滨工业大学化工学院教授、博导、系主任。从事无机晶体材料和纳米材料的表界面研究，擅长综合运用扫描探针显微镜等技术进行表面结构表征、控制及缺陷研究，主讲《表面和界面作用力》、《研究生学术论文写作》等深受学生好评的课程。发表论文近50篇，其中4篇封面论文，被引用600余次，2篇论文他引>100次(GS数据)，应邀为Surf.Sci.Rep.等多个期刊撰写综述。2003年发表的STM针尖剥离石墨烯的论文，被2010年诺奖得主Geim教授在获奖演讲中引用。获2013年Elsevier首届Frans Habraken最佳论文奖(蓝宝石清洗表征研究)，2009年黑龙江省自然科学一等奖(功能纳米材料制备表征研究)。现任Scientific Reports等三个SCI期刊编委，中国化工学会化工新材料委员会理事，SEMI China HB-LED标准技术委员会核心委员。

　　报告题目： 蓝宝石和碳化硅单晶的等离子体蚀刻和抛光过程纳米摩擦性能的AFM表征研究

　　报告简介：

　　深入理解蓝宝石和SiC单晶的表面等离子处理机理和材料去除机理，对高亮度LED和功率半导体技术的发展具有重要意义。但是，目前对等离子蚀刻过程中单晶表面结构的微观演化规律的理解还欠深入，对CMP加工中磨料与表面的作用机制及磨料消耗过程也缺乏深入研究。

　　利用原子力显微镜(AFM)，我们研究了等离子体处理对单晶表面纳米级“台阶—平台“结构演化的影响，首次发现了初始等宽台阶的宽度变化、台阶和平台的蚀刻粗化以及台阶消失等新现象。此外，利用AFM和微球探针技术，深入研究了二氧化硅微球(作为模型CMP磨料)对蓝宝石和SiC表面的纳米摩擦行为，通过对微球磨损的形貌演化及其对纳米粘附力影响的实验和理论研究，揭示了磨料表面纳米级形貌影响表面范德华力和毛细力的规律。

　　以上结果对在微观水平控制蓝宝石和SiC单晶的表面等离子蚀刻过程和CMP材料去除具有重要指导意义。

甘阳(右)