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分会主席赵超
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中国科学院微电子所研究员,现任该所集成电路先导工艺研发中心主任。1982年在南京大学获学士学位,1988年在哈工大获硕士学位,1999年在比利时鲁汶大学获博士学位,2000年1月至2010年3月,在IMEC任资深科学家。先后在国际学术期刊和会议上发表论文150多篇,申请发明专利80项。
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