杨涛
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中国科学院微电子研究所副主任、研究员,2007.9-2010.10中芯集成电路制造有限公司(北京)逻辑技术研发中心资深工程师,参与65纳米和45纳米工艺开发;2009.11-2019.5中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心副研究员;2019年6月-至今中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心研究员(副主任)。2009年入职微电子研究所,先后参与了国家重大科技02专项从22纳米、16/14纳米到7/5纳米的多个先导技术课题研究;主持在研中科院先导、科技部攻关与北京市重大研发课题多项。发表论文10余篇,申请发明专利60余项。