产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：场发射电镜 |
仪器型号 |
SU8100 |
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英文：FE-SEM |
产地及生产厂家 |
日立高新技术那珂事业场 |
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所属单位 |
上海飞研检测技术有限公司 |
购置时间 |
2019年12月 |
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放置地点 |
上海市宝山区潘泾路2999号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
高倍率下观察材料表面形貌并进行元素分析。可测量样品尺寸；优秀的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达0.8nm，高低电压均可满足高分辨的观察。EDS可以对样品表面元素定性和半定量。常用于材料缺陷分析，如晶圆、塑胶板材的涂层分析。 SEM：放大倍率20-1000K；EDS：半定量，可检测4-98号元素。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
是 |
已获取CNAS认证 |
否 |