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三维立体成像X射线显微镜

所属分类:

联合分析检测与技术合作服务平台

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产品描述

仪器设备信息

仪器名称

中文:三维立体成像X射线显微镜

仪器型号

Y.CT Precision S

英文:3D Imaging X-Ray Microscope

产地及生产厂家

德国/YXLON

所属单位

工业和信息化部电子第五研究所(中国赛宝实验室)

购置时间

2019年

放置地点

广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号

仪器状态

正常

设备应用范围/仪器测量范围(公差)

应用范围:电子元器件内部三维微结构无损立体成像、封装和芯片内部失效分析。可无损检测元器件内部键合断线、内部空洞、多余物、焊点移位及桥接、虚焊、气孔、焊点空洞、裂纹等缺陷。

主要参数:最高3D空间分辨率≤0.9μm。

是否通过第三方机构定期校准

已获取CNAS认证