产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文:扫描电镜系统 |
仪器型号 |
冷场发射扫描电子显微镜 Regulus8230 热场发射扫描电子显微镜 MIRA3 XMH 离子溅射镀膜仪 Q150TS 能谱仪 Octane Elect Plus 电子背散射衍射仪相机 Hikari Plus X射线能谱仪 Octane Elect Super |
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英文:Scanning Electron Microscope System |
产地及生产厂家 |
德国/Zeiss 等 |
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所属单位 |
工业和信息化部电子第五研究所(中国赛宝实验室) |
购置时间 |
2019年 |
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放置地点 |
广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围(公差) |
用于材料表面的微观形貌的高分辨观察,不仅可以观察和检测有机或无机的固体材料,还可在样品表面进行微米、亚微米级的表面微观特征形貌的观察和成份的定性和定量分析。亚微米级尺度内进行晶体结构分析,如晶体取向(微观结构分析、晶界特征分析、形变与再结晶的研究)、真实晶粒尺寸的测量、应变评估、物相鉴定、材料失效机理的研究等。参数:SEM分辨率 0.6nm@15kV,能谱的能量分辨率(Mn-Ka):优于127eV。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
是 |
已获取CNAS认证 |
是 |
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