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扫描电镜系统

所属分类:

联合分析检测与技术合作服务平台

测试仪器

硅材料测试仪器

光掩模测试仪器

溅射靶材测试仪器

封装材料测试仪器

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产品描述

仪器设备信息

仪器名称

中文:扫描电镜系统

仪器型号

冷场发射扫描电子显微镜 Regulus8230

热场发射扫描电子显微镜 MIRA3 XMH

离子溅射镀膜仪 Q150TS

能谱仪 Octane Elect Plus

电子背散射衍射仪相机 Hikari Plus

X射线能谱仪 Octane Elect Super

英文:Scanning Electron Microscope System

产地及生产厂家

德国/Zeiss 等

所属单位

工业和信息化部电子第五研究所(中国赛宝实验室)

购置时间

2019年

放置地点

广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号

仪器状态

正常

设备应用范围/仪器测量范围(公差)

用于材料表面的微观形貌的高分辨观察,不仅可以观察和检测有机或无机的固体材料,还可在样品表面进行微米、亚微米级的表面微观特征形貌的观察和成份的定性和定量分析。亚微米级尺度内进行晶体结构分析,如晶体取向(微观结构分析、晶界特征分析、形变与再结晶的研究)、真实晶粒尺寸的测量、应变评估、物相鉴定、材料失效机理的研究等。参数:SEM分辨率 0.6nm@15kV,能谱的能量分辨率(Mn-Ka):优于127eV。

是否通过第三方机构定期校准

已获取CNAS认证