产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：三维光学轮廓仪 |
仪器型号 |
VK-X250K |
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英文：3D Optical Profilometer |
产地及生产厂家 |
日本/基恩士 |
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所属单位 |
工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
购置时间 |
2018年 |
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放置地点 |
广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
应用范围：主要用于产品平面，体积面积测量、平面度、平坦度平均高度差测量、宽度、高度、表面粗糙度、薄膜厚度的非破坏测量和透明体薄膜最表面的测量等。 测量参数：综合倍率：28800倍以下；视野：11μm到5400μm；高度测量（显示分辨率：0.5nm；重复精度：20倍40nm、50倍12nm、150倍12nm；准确性：0.2+L/100μm或更小）。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
是 |
已获取CNAS认证 |
是 |