产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：低温傅里叶变换红外光谱仪 |
仪器型号 |
CryoSAS |
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英文：LT-FTIR |
产地及生产厂家 |
布鲁克 |
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所属单位 |
江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
购置时间 |
2019年11月 |
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放置地点 |
徐州开发区杨山路66号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
CryoSAS适用于单晶硅样品中B、P、As、Al、Sb、Ga、C、O等杂质元素含量的分析，是布鲁克光谱公司最新生产的专门用于硅材料分析的一体化的低温检测系统。它可分析： - 单晶硅中III、V族掺杂元素(如硼、磷等浅杂质态)的含量分析，符合SEMI MF1630-0704标准，检测限：低至万亿分之一（ppta）量级，B:30ppta；P:10ppta；重复性相对平均偏差：＜5%； - 硅中取代碳的含量分析，符合SEMI MF1391-0704标准要求，检测限：十亿分之一 （ppba）量级，C：25ppba；重复性相对平均偏差：＜3%； - 硅中间隙氧的含量分析，符合SEMI F1188-93a标准要求，检测限：十亿分之一 （ppba）量级，O：10ppba；重复性相对平均偏差：＜3%； |
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是否通过第三方机构定期校准 |
是 |
已获取CNAS认证 |
否 |