产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：磷检区熔炉 |
仪器型号 |
FZ 350/20 |
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英文：暂无 |
产地及生产厂家 |
SPE |
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所属单位 |
江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
购置时间 |
暂无 |
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放置地点 |
徐州开发区杨山路66号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
FZ350/20型区熔炉使用20KW,频率3MHz的高频电源，可区熔多晶棒的直径≤2',长度≤340mm,悬浮区熔晶体长度＞300mm。在使用FZ350测定杂质（B、Al、P、As）及C的工艺步骤长晶时，对产品的质量没有损害并且与质量相关的参数B、Al、P、As、C、Fe、Cr、Ni、Cu、Zn将保持不受影响。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
是 |
已获取CNAS认证 |
否 |