产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：关键尺寸扫描电子显微镜 |
仪器型号 |
S 9220 |
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英文：CD-SEM |
产地及生产厂家 |
日本/Hitachi |
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所属单位 |
北京科华微电子材料有限公司 |
购置时间 |
2012年 |
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放置地点 |
北京市顺义区竺园路四号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
尺寸量测，量测范围:0.1-2um。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
否 |
已获取CNAS认证 |
否 |