产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：光刻机 |
仪器型号 |
Pas 5500/800 |
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英文：Scanner |
产地及生产厂家 |
荷兰/ASML |
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所属单位 |
北京科华微电子材料有限公司 |
购置时间 |
2012年 |
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放置地点 |
北京市顺义区竺园路四号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
光刻胶曝光： 曝光波长:248nm；硅片尺寸:8吋；分辨率:110nm。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
否 |
已获取CNAS认证 |
否 |
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