产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：激光直写曝光机 |
仪器型号 |
Paragon-Ultra200 |
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英文：暂无 |
产地及生产厂家 |
以色列/奥宝 |
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所属单位 |
华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
购置时间 |
2010年10月 |
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放置地点 |
北京朝阳区北土城西路三号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
用于曝光。 最小尺寸：L/S=8/12μm；波长：355nm；频率：8w；分辨率：1μm；边缘粗糙度：±1μm；对位精度：±5μm；层间对位精度：10μm；曝光能量：10-2200mj；基板厚度：0.05-3mm；最大图形尺寸：508*609mm；最大基板尺寸：558*660mm |
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是否通过第三方机构定期校准 |
否 |
已获取CNAS认证 |
否 |