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金属膜厚仪

所属分类:

抛光材料测试仪器

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产品描述

仪器设备信息

仪器名称

中文:金属膜厚仪

仪器型号

napson RG-300

英文:napson RG-300

产地及生产厂家

日本/napson

所属单位

湖北鼎汇微电子材料有限公司

购置时间

2016年

放置地点

湖北省武汉市经济技术开发区东荆河路1号

仪器状态

正常

设备应用范围/仪器测量范围(公差)

对8寸/12寸 copper/tungsten wafer厚度进行量测。

是否通过第三方机构定期校准

已获取CNAS认证