产品描述
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仪器设备信息 |
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仪器名称 |
中文：S-3400N扫描电镜 |
仪器型号 |
S-3400N |
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英文：SEM S-3400N |
产地及生产厂家 |
日立 |
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所属单位 |
昆山欣谷微电子材料有限公司 |
购置时间 |
2014年 |
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放置地点 |
江苏省昆山市千灯镇秦峰北路219号 |
仪器状态 |
正常 |
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设备应用范围/仪器测量范围（公差） |
测试片形貌分析。光刻胶去除能力分析，蚀刻液性能分析。材料元素分析等。仪器测量范围：100-10000倍。 |
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是否通过第三方机构定期校准 |
是 |
已获取CNAS认证 |
否 |
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