产品描述
北京大学教授、博士生导师，国家自然科学基金委杰出青年基金获得者。近年来，主要从事新型纳米尺度半导体器件结构与制备工艺、集成电路参数库/单元库、新材料、可靠性与评测、工艺和器件模型模拟等方面的研究工作，合作发表学术论文200余篇，申请发明专利100余项，获国家技术发明二等奖、北京市科学技术一等奖、教育部科技进步一等奖等多项国家和省部级奖励。
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北京大学教授、博士生导师，国家自然科学基金委杰出青年基金获得者。近年来，主要从事新型纳米尺度半导体器件结构与制备工艺、集成电路参数库/单元库、新材料、可靠性与评测、工艺和器件模型模拟等方面的研究工作，合作发表学术论文200余篇，申请发明专利100余项，获国家技术发明二等奖、北京市科学技术一等奖、教育部科技进步一等奖等多项国家和省部级奖励。