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200mm硅片工艺用Cu及合金靶材
产品描述
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型号
所属单位
1、纯度≥99.9999%；
2、焊接合格率≥99%；
3、加工精度0.1mm；
4、溅射面粗糙度≤0.4um；
5、晶粒：≤50um；