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砷烷AsH3 及其混合气
江苏南大光电材料股份有限公司
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规格及技术指标如下(ppm,v/v):AsH3 ≥99.9999% O2+Ar<0.1 N2<0.2 CO<0.1 CO2<0.1 THC<0.1 H20<0.2,PH3<0.1