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上海博康精细化工有限公司潘新刚
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报告题目：电子束光刻胶中的聚合物材料
报告简介：在微电子工艺和纳米加工中，电子束光刻胶是比较常用的高分辨率的图形掩模材料。电子束光刻胶的重要材料是有机聚合物。文中论述了各种用于电子束光刻胶的聚合物材料，从聚合物的单体结构，聚合物的不同组成，分子量范围及其分布，以及在电子束光刻胶中的表征，说明了他们对于电子束光刻胶性能的影响。光刻工艺的变化对于聚合物材料在光刻时的表现也起着重要的作用。作者最后列举了一些国产电子束光刻胶的光刻特性和数据比较。
潘新刚(右)
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