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分会委员张卫
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张卫，教授、博士生导师，现任复旦大学微电子学院副院长。从事极大规模集成电路工艺、半导体材料和微电子器件研究。在极大规模集成电路先进铜互连技术、原子层淀积工艺，以及新型存储器等研究中取得了一系列创新性成果。复旦大学校学术委员会委员、国家重大专项(02专项)总体组专家、国家科技奖励评审专家、上海市战略性新兴产业推进工作组专家、国家自然科学基金委员会-中国科学院“后摩尔时代微纳电子”学科发展战略研究工作组专家、中国工程院-上海市政府“长三角地区集成电路产业发展战略研究”专家组专家。近年已发表SCI论文200多篇，申请发明专利180多项，其中30多项美国专利。
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