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2024
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04
2023年度第一批团体标准发布公告 （四氯化钛）
团体标准发布公告
各有关单位：
依据《中关村集成电路材料产业技术创新联盟团体标准管理办法》的规定，《集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法》团体标准已按规定程序完成制定，通过审批。标准名称及标准号信息如下：
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序号 |
标准编号 |
标准名称 |
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1 |
T/ICMTIA ESG0039-2024 |
集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
本标准于2024年4月30日批准发布，2024年6月1日实施，特此公告。
2024年4月30日
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