团体标准发布公告
各有关单位:
依据《中关村集成电路材料产业技术创新联盟团体标准管理办法》的规定,《集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法》团体标准已按规定程序完成制定,通过审批。标准名称及标准号信息如下:
序号 |
标准编号 |
标准名称 |
1 |
T/ICMTIA ESG0039-2024 |
集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
本标准于2024年4月30日批准发布,2024年6月1日实施,特此公告。
2024年4月30日