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2023年度第一批团体标准发布公告 (石英坩埚)

2023年度第一批团体标准发布公告 (石英坩埚)

来源:
2024/04/25
浏览量

团体标准发布公告

各有关单位:

依据《中关村集成电路材料产业技术创新联盟团体标准管理办法》的规定,《半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚》团体标准已按规定程序完成制定,通过审批。标准名称及标准号信息如下:

序号

标准编号

标准名称

1

T/ICMTIA CM0038-2024

半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚

本标准于2024425日批准发布,202461日实施,特此公告。

2024年4月25日