2023集成电路用硅基气体研讨会顺利召开

来源：

ICMtia

2023/08/30

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8月29日集成电路材料产业技术创新联盟（以下简称“联盟”）与洛阳中硅高科技有限公司（以下简称“中硅高科”）在洛阳共同举办了“2023集成电路用硅基气体研讨会”，洛阳市政府牛刚副市长、材料联盟石瑛秘书长、中硅高科张合文董事长、万烨总经理等出席了会议。29家晶圆制造、装备、硅材料、硅基气体、阀门、钢瓶及气体检测企业代表70余人参加了会议。

2023集成电路用硅基气体研讨会现场

牛刚副市长在致辞中表示硅基气体是集成电路行业的关键材料，洛阳市将持续推进相关产业的发展，期待通过此次会议，深化行业交流合作、促进产业良性发展，并预祝本次会议圆满成功。

牛刚副市长致辞现场

张合文董事长对参会企业代表表示欢迎，他在致辞中提到硅基材料在业界应用最为广泛，90%以上的半导体产品由硅基材料制成，硅基气体渗透到半导体生产的各个环节，是超大规模集成电路、平面显示器件、太阳能电池等电子工业不可或缺的原材料，被称为半导体的血液。随着半导体和微电子工业的飞速发展，对电子气体产品的数量种类、质量要求及程度都提出了越来越高的要求。希望通过此次学术交流与技术探讨，上下游认真剖析、深入交流、协同联动、共谋发展，激发科技创新活力。

张合文董事长致辞现场

随后，中硅高科万烨总经理作了《以创新赋能产业升级，谱写硅基材料产业发展新篇章》的报告，指出国内半导体材料国产化率总体还比较低，他介绍了在提升材料国产化替代过程中中硅高科在技术研发、质量标准、管理体系各方面所作出的努力，并特别分享了采用基因组工程的方式做产品研发的特有管理方法。

万烨总经理报告现场

北方华创供应链工程技术中心总经理曹永友博士在《半导体洁净制造及SEMI标准在气体输送系统应用建议》的报告中介绍了半导体行业现状及路线图，分享了半导体洁净制造及标准应用案例，在气体分离及纯化技术、气体输送系统技术标准、全产业链配套建设、加快建设第三方检测机构及推动标准落地等方面提出了产业链创新协同发展的建议。

曹永友博士报告现场

材料联盟标准化专员王大方做了《标准铸立品牌，创新引领发展》的报告，介绍了材料联盟标委会、标准化工作的机制、已发布的气体相关联盟标准，对比了国标和团标的各项特点，并倡议相关企业积极参与联盟标准工作，共同推进国内集成电路行业标准的建立。

材料联盟报告现场

中国原子能工业有限公司产业主管范学振先生作了《集成电路阀门国产化进展和思考》的报告，就解决关键精密阀门短板的紧迫性，产品国产化进展情况，以及取得的突破进行了详细说明；梳理了阀门用关键材料及攻关重点；他同时介绍了“材料联盟集成电路用阀门材料工艺与应用创新联合体”的工作机制及进展，并对阀门研发一体化平台搭建、阀门相关标准建立等方面提出了思考方向。