各位委员、行业专家:
根据“集成电路材料产业技术创新联盟标准委员会”团体标准制修订计划,以下团体标准已完成征求意见稿编制,现公开广泛征求意见。
序号 |
立项编号 |
标准名称 |
1 |
2023-1LX-ICMTIA |
半导体单晶硅生产用高纯石英坩埚 |
2 |
2023-2LX-ICMTIA |
集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
请各有关单位及个人于2023年8月5日前将反馈意见发送至联盟标准委员会。不限形式,便于清晰表述意见内容即可。逾期不复函,视为无意见。
标委会联系人:王大方
电 话:13811525241
邮 件:dafang_wang@icmtia.com