各位委员、行业专家：
根据“集成电路材料产业技术创新联盟标准委员会”团体标准制修订计划，以下团体标准已完成征求意见稿编制，现公开广泛征求意见。
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序号 |
立项编号 |
标准名称 |
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1 |
2023-1LX-ICMTIA |
半导体单晶硅生产用高纯石英坩埚 |
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2 |
2023-2LX-ICMTIA |
集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
请各有关单位及个人于2023年8月5日前将反馈意见发送至联盟标准委员会。不限形式，便于清晰表述意见内容即可。逾期不复函，视为无意见。
标委会联系人：王大方
电 话：13811525241
邮 件：dafang_wang@icmtia.com