02

2023

-

06

团体标准《集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》立项公告


各有关单位:

经联盟标委会审查,批准《集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》团体标准的立项申请,现予以公告。

序号

拟立项编号

标准名称

牵头单位

制修订

1

2023-2LX-ICMTIA

集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

洛阳中硅高科技有限公司

制定

 

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