各有关单位：
经联盟标委会审查，批准《集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》团体标准的立项申请，现予以公告。
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序号 |
拟立项编号 |
标准名称 |
牵头单位 |
制修订 |
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1 |
2023-2LX-ICMTIA |
集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
洛阳中硅高科技有限公司 |
制定 |