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2022年度第二批团体标准发布公告

2022年度第二批团体标准发布公告

来源:
2023/03/15
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各有关单位:

依据《中关村集成电路材料产业技术创新联盟团体标准管理办法》的规定,《集成电路材料供应商质量评价指标》6项团体标准已按规定程序完成制定,通过审批。标准名称及标准号信息如下:

序号

标准编号

标准名称

1

T/ICMTIA BS0032-2023

集成电路材料供应商质量评价指标

2

T/ICMTIA CM0033-2023

集成电路用氧化铝陶瓷制品

3

T/ICMTIA ESG0034-2023

集成电路用混合气体20%氟/氮

4

T/ICMTIA CM0035-2023

半导体硅材料制程装置用密封垫片

5

T/ICMTIA TG0036-2023

集成电路用高纯铝钪合金靶材

6

T/ICMTIA CMP0037-2023

集成电路用化学机械抛光垫

以上标准于2023313日批准发布,2023430日实施,特此公告。

附件:团体标准发布公告007号