15
2023
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03
2022年度第二批团体标准发布公告
各有关单位：
依据《中关村集成电路材料产业技术创新联盟团体标准管理办法》的规定，《集成电路材料供应商质量评价指标》等6项团体标准已按规定程序完成制定，通过审批。标准名称及标准号信息如下：
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序号 |
标准编号 |
标准名称 |
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1 |
T/ICMTIA BS0032-2023 |
集成电路材料供应商质量评价指标 |
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2 |
T/ICMTIA CM0033-2023 |
集成电路用氧化铝陶瓷制品 |
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3 |
T/ICMTIA ESG0034-2023 |
集成电路用混合气体20%氟/氮 |
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4 |
T/ICMTIA CM0035-2023 |
半导体硅材料制程装置用密封垫片 |
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5 |
T/ICMTIA TG0036-2023 |
集成电路用高纯铝钪合金靶材 |
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6 |
T/ICMTIA CMP0037-2023 |
集成电路用化学机械抛光垫 |
以上标准于2023年3月13日批准发布，2023年4月30日实施，特此公告。
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