团体标准征求意见通知
各位委员、行业专家：
根据“集成电路材料产业技术创新联盟标准委员会”团体标准制修订计划，以下团体标准已完成征求意见稿编制，现公开征求意见。
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序号 |
立项编号 |
标准名称 |
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1 |
2020-6LX-ICMTIA |
集成电路用氧化铝陶瓷制品 |
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2 |
2022-2LX-ICMTIA |
集成电路材料供应商质量评价指标 |
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3 |
2022-5LX-ICMTIA |
半导体硅材料制程装置用密封垫片 |
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4 |
2022-9LX-ICMTIA |
集成电路用高纯铝钪合金靶材 |
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5 |
2022-12LX-ICMTIA |
集成电路用混合气体20%氟/氮 |
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6 |
2022-13LX-ICMTIA |
集成电路用化学机械抛光垫 |
请各有关单位及个人于2022年10月20日前将反馈意见发送至联盟标准委员会。不限形式，便于清晰表述意见内容即可。逾期不复函，视为无意见。
标委会联系人：王大方
电 话：13811525241
邮 件：dafang_wang@icmtia.com