联系我们      English   

1

1

 
搜索

北京市海淀区知春路27号量子芯座

1

>
关于征求2022年度第二批拟立项团体标准项目意见及起草单位的通知

关于征求2022年度第二批拟立项团体标准项目意见及起草单位的通知

来源:
2022/07/04
浏览量

联盟各有关单位:

经联盟标委会秘书处形式审查后,对以下9项拟立项团体标准项目公开征求意见。

序号

拟立项编号

标准名称

牵头单位

制修订

1

2022-5LX-ICMTIA

半导体硅材料制程装置用

密封垫片

江苏鑫华半导体材料科技有限公司

制定

2

2022-6LX-ICMTIA

集成电路用高纯钴靶材

有研亿金新材料有限公司

制定

3

2022-7LX-ICMTIA

集成电路用高纯镍铂合金靶材

4

2022-8LX-ICMTIA

集成电路用高纯铜及铜合金靶材

5

2022-9LX-ICMTIA

集成电路用高纯铝钪合金靶材

6

2022-10LX-ICMTIA

集成电路用钨靶材

7

2022-11LX-ICMTIA

集成电路用高纯钽靶材

8

2022-12LX-ICMTIA

集成电路用混合气体20%氟/氮

福建德尔科技股份有限公司

制定

9

 

2022-13LX-ICMTIA

集成电路用化学机械抛光垫

集成电路材料联盟、宁波赢伟泰科新材料有限公司、湖北鼎汇微电子材料有限公司

制定

上述拟立项标准项目的“标准草案及编制说明”等文件见附件1。有反对意见或其它建议请于7月15前向秘书处进行反馈。

有意参与上述标准制定,作为参与起草单位的企事业单位、科研院所、检测机构、高等院校等,请填写《团体标准制修订项目参与申请表》(附件2),并于7月15前反馈至秘书处。

秘书处联系人:王大方   邮箱:dafang_wang@icmtia.com

附件1 标准草案及编制说明

附件2 团体标准制修订项目参与申请表