中关村集成电路材料联盟标准委员会于2022年3月30～31日召开2021年度第二批，共13项团体标准的线上审查会。

本次审查会根据专业类型分为3个分会场同步进行。电子气体专业组由江苏南大光电担任组长单位，对《电子特气乙烯》、《电子特气二氟甲烷》、《电子特气锗烷》、《集成电路用乙硅烷》、《高纯气体产品采样通则》、《电子工业混合气体的制备称量法》、《10%甲烷/氩气混合气》、《1.2%氦气/氮气混合气》、《集成电路用氯气》、《集成电路用氯化氢》等9项标准进行审查。

硅材料专业组由有研半导体担任组长单位，对《先进存储器用300mm硅单晶抛光片》、《集成电路用电子级多晶硅》两项标准进行审查。

封装材料专业组由烟台德邦担任组长单位，对《集成电路用锡银电镀液》标准进行审查。

各团体标准牵头单位的代表向与会委员报告标准编制过程及标准内容。在前期认真审阅各项标准送审稿、编制说明和征求意见汇总处理表的基础上，与会委员对标准中的相关技术问题、数据来源、表述方式等内容提出了征询问题。标准起草单位进行了回答、解释和说明，对关键问题进行了认真讨论。

最后，各组委员对各项标准进行了投票均取得不少于审查人员人数3/4的“同意”票或“完成修改后则同意”票，全部标准审查获得通过。最后，会议要求各通过审查的团体标准牵头单位按照审查意见修改后尽快形成报批稿。