团体标准发布公告
各有关单位：
依据《中关村集成电路材料产业技术创新联盟团体标准管理办法》的规定，《集成电路用气体乙硅烷》等13项团体标准已按规定程序完成制定，通过审批。标准名称及标准号信息如下：
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序号 |
标准编号 |
标准名称 |
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1 |
T/ICMTIA ESG0016—2022 |
集成电路用气体乙硅烷 |
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2 |
T/ICMTIA PC0017—2022 |
集成电路用锡银电镀液 |
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3 |
T/ICMTIA ESG0018—2022 |
集成电路用气体乙烯 |
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4 |
T/ICMTIA ESG0019—2022 |
集成电路用气体二氟甲烷 |
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5 |
T/ICMTIA ESG0020—2022 |
集成电路用气体锗烷 |
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6 |
T/ICMTIA ESG0021—2022 |
高纯气体产品采样通则 |
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7 |
T/ICMTIA ESG0022—2022 |
电子工业混合气体的制备称量法 |
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8 |
T/ICMTIA ESG0023—2022 |
集成电路用混合气体10%甲烷/氩 |
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9 |
T/ICMTIA ESG0024—2022 |
集成电路用混合气体1.2%氦/氮 |
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10 |
T/ICMTIA ESG0025—2022 |
集成电路用气体氯气 |
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11 |
T/ICMTIA ESG0026—2022 |
集成电路用气体氯化氢 |
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12 |
T/ICMTIA SM0027—2022 |
先进存储器用300mm硅单晶抛光片 |
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13 |
T/ICMTIA SM0028—2022 |
集成电路用电子级多晶硅 |
以上标准于2022年5月10日批准发布，2022年5月31日实施，特此公告。