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2021年度第二批团体标准发布公告

2021年度第二批团体标准发布公告

来源:
2022/05/24
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团体标准发布公告

各有关单位:

依据《中关村集成电路材料产业技术创新联盟团体标准管理办法》的规定,《集成电路用气体乙硅烷》等13项团体标准已按规定程序完成制定,通过审批。标准名称及标准号信息如下:

序号

标准编号

标准名称

1

T/ICMTIA ESG0016—2022

集成电路用气体乙硅烷

2

T/ICMTIA PC0017—2022

集成电路用锡银电镀液

3

T/ICMTIA ESG0018—2022

集成电路用气体乙烯

4

T/ICMTIA ESG0019—2022

集成电路用气体二氟甲烷

5

T/ICMTIA ESG0020—2022

集成电路用气体锗烷

6

T/ICMTIA ESG0021—2022

高纯气体产品采样通则

7

T/ICMTIA ESG0022—2022

电子工业混合气体的制备称量法

8

T/ICMTIA ESG0023—2022

集成电路用混合气体10%甲烷/

9

T/ICMTIA ESG0024—2022

集成电路用混合气体1.2%/

10

T/ICMTIA ESG0025—2022

集成电路用气体氯气

11

T/ICMTIA ESG0026—2022

集成电路用气体氯化氢

12

T/ICMTIA SM0027—2022

先进存储器用300mm硅单晶抛光片

13

T/ICMTIA SM0028—2022

集成电路用电子级多晶硅

以上标准于2022510日批准发布,2022531日实施,特此公告。

附件:材料联盟[2022] 025号