团体标准发布公告
各有关单位：
依据《中关村集成电路材料产业技术创新联盟团体标准管理办法》的规定，《集成电路用环氧模塑料》等6项团体标准已按规定程序完成制定，通过审批。标准名称及标准号信息如下：
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序号 |
标准编号 |
标准名称 |
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1 |
T/ICMTIA PM0010-2022 |
集成电路用环氧模塑料 |
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2 |
T/ICMTIA TG0011 -2022 |
集成电路用高纯铝及铝合金溅射靶材 |
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3 |
T/ICMTIA ESG0012 -2022 |
集成电路用混合气体1.25%氪/氖 |
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4 |
T/ICMTIA ESG0013 -2022 |
集成电路用混合气体 3.5%氩/10ppm氙/氖 |
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5 |
T/ICMTIA ESG0014 -2022 |
集成电路用混合气体 30%氧/氦 |
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6 |
T/ICMTIA ESG0015 -2022 |
集成电路用气体 氘 |
以上标准于2022年4月8日批准发布，2022年5月1日实施，特此公告。