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2021年度第一批团体标准发布公告

2021年度第一批团体标准发布公告

来源:
2022/05/24
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团体标准发布公告

各有关单位:

依据《中关村集成电路材料产业技术创新联盟团体标准管理办法》的规定,《集成电路用环氧模塑料》等6项团体标准已按规定程序完成制定,通过审批。标准名称及标准号信息如下:

 

序号

标准编号

标准名称

1

T/ICMTIA PM0010-2022

集成电路用环氧模塑料

2

T/ICMTIA TG0011 -2022

集成电路用高纯铝及铝合金溅射靶材

3

T/ICMTIA ESG0012 -2022

集成电路用混合气体1.25%/

4

T/ICMTIA ESG0013 -2022

集成电路用混合气体 3.5%/10ppm/

5

T/ICMTIA ESG0014 -2022

集成电路用混合气体 30%/

6

T/ICMTIA ESG0015 -2022

集成电路用气体

 

以上标准于202248日批准发布,202251日实施,特此公告。

附件:材料联盟[2022] 018号