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联盟T/ICMTIA 3-2020团体标准发布公告

联盟T/ICMTIA 3-2020团体标准发布公告

来源:
ICMtia
2020/02/24
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各有关单位:

  根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求,经联盟标准委员会审议通过,现批准发布T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准。

  本标准于2020年2月24日发布,并于2020年4月24日开始实施,特此公告。

集成电路材料产业技术创新联盟
二零二零年二月二十四日

 

T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准目录