根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求,经联盟标准委员会审议通过,现批准发布如下2项团体标准:
T/ICMTIA 1-2019《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》
T/ICMTIA 2-2019《集成电路用过氧化氢》
以上标准于2019年4月17日发布,并于2019年10月10日开始实施,特此公告。
附1:《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》目录
附2:《集成电路用过氧化氢》目录:
根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求,经联盟标准委员会审议通过,现批准发布如下2项团体标准:
T/ICMTIA 1-2019《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》
T/ICMTIA 2-2019《集成电路用过氧化氢》
以上标准于2019年4月17日发布,并于2019年10月10日开始实施,特此公告。
附1:《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》目录
附2:《集成电路用过氧化氢》目录: