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获奖项目 |
获奖单位 |
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1 |
电子级硫酸 |
湖北兴福电子材料有限公司 |
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2 |
集成电路制造用高纯硫酸 |
中巨芯科技股份有限公司 |
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3 |
电子级硫酸 |
联仕新材料有限公司 |
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4 |
钨抛光液系列 |
安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
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5 |
300mm超高纯铜靶 |
有研亿金新材料有限公司 |
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6 |
先进封装用光刻胶去除剂系列 |
安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
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7 |
超净高纯过氧化氢 |
晶瑞电子材料股份有限公司 |
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8 |
集成电路刻蚀用硅部件 |
有研半导体硅材料股份公司 |