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安徽亚格盛电子新材料有限公司“半导体级乙硅烷制备关键技术与应用”科技成果通过鉴定

安徽亚格盛电子新材料有限公司“半导体级乙硅烷制备关键技术与应用”科技成果通过鉴定

来源:
ICMtia
2021/05/27
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2021年5月26日上午九点,全椒亚格泰电子新材料科技有限公司、安徽亚格盛电子新材料有限公司、南京亚格泰新能源材料有限公司联合申请的“半导体级乙硅烷制备关键技术与应用科技成果鉴定会”在北京西藏大厦会议室召开。

鉴定会由中国石油和化学工业联合会胡迁林副秘书长主持,鉴定委员会由浙江大学任其龙院士担任主任委员,中科院理化技术研究所二级研究员李嫕博士、北京化工大学副校长任钟旗教授、集成电路材料产业技术创新联盟秘书长石瑛、江苏南大光电材料股份有限公司总裁王陆平博士、洛阳中硅高科技有限公司总工程师严大洲、浙江师范大学教授叶向荣博士共7位专家组成。

鉴定委员会专家听取了全椒亚格泰电子新材料科技有限公司等完成单位所作的工作报告、研究报告、查新报告及应用报告,并审查了有关资料,经质询和讨论,鉴定委员会专家一致认为:该成果针对半导体级乙硅烷合成收率低、纯化难等技术难题,通过创新开发实现了半导体级乙硅烷的国内首次量产,产品纯度达到4.8N,已应用于合肥长鑫存储技术有限公司产品生产,并出口至韩国SK-Hynix,日本KIOKIA等国外半导体知名企业,取得了显著的社会效益和经济效益。鉴定委员会专家一致认为:该技术成果已实现半导体级乙硅烷自主制备,产品技术指标达到了国际同类产品先进水平。同意通过鉴定。

与会专家充分肯定了亚格泰的“乙硅烷”产品解决了集成电路先进制程关键材料的“卡脖子”问题,希望企业继续研发出更多具有国际竞争力和影响力的新产品,推动我国相关行业科技进步,为中国集成电路产业发展保驾护航!