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获奖单位 |
广东华特气体股份有限公司 总经理傅铸红 |
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奖项介绍 |
傅铸红，广东华特气体股份有限公司总经理，高级工程师，全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会副主任委员。主导公司电子气体研发，20多个品种的电子气体应用于国内8英寸、12英寸芯片厂，部分产品进入5纳米工艺技术节点；研制的光刻气体通过ASML认证，并被主流IC厂广泛使用；主持了02专项在内的多项国家、省级项目，为电子气体产品技术提升和批量应用做出重要贡献。 |
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获奖单位 |
南京国盛电子有限公司 副总经理任凯 |
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奖项介绍 |
南京国盛电子有限公司副总经理任凯，拥有丰富的硅外延工艺技术经验和生产管理经验。他组建并带领国盛公司“半导体硅外延用关键原辅材料和关键设备耗材备件国产化推进团队”，协同国内相关产业链中的龙头企业，在外延设备、关键零部件及特气系统等本地化推进方面取得丰硕的成果。不但保证了半导体硅外延供应链安全，也带动了国内配套企业的整体技术提升和产业转型，实现了双赢、多赢的良性发展局面。 |
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获奖单位 |
中芯国际 史伟 |
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奖项介绍 |
在北京科华与中芯国际北京厂光刻部的合作中，史伟经理一方面在产品规划、光刻胶测试及设备稳定性方面给北京科华提出了大量有针对性的建议；另一方面倡导双方加深交流和合作，通过常态化的技术交流，使光刻工程师更加理解光刻胶机理，不断提高对本地光刻胶产品的信任度。在过去的五年里，完成了多款KrF和i线光刻胶的产品定型和量产化应用，为培育光刻胶本地供应能力作用贡献。 |